產(chǎn)品/Leybold
THERMOVAC 變送器 真空計(jì) TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC
說(shuō)明 TTR 911 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。 配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可...
立即咨詢(xún)- 產(chǎn)品概述
- 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 產(chǎn)品應(yīng)用
- 供貨范圍
- 技術(shù)參數(shù)
- 訂貨信息
說(shuō)明
TTR 911 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。更多詳情，請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請(qǐng)參閱第 6.4 章。
TTR 911 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在指定操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過(guò)程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器具備單獨(dú)的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件，元件測(cè)量基于熱傳導(dǎo)性。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流，因此，傳感器對(duì)安裝位置并不敏感。通過(guò)擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測(cè)量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
· 一般真空壓力測(cè)量
· 前級(jí)管道和粗抽壓力測(cè)量
· 氣體回填測(cè)量和控制
· 質(zhì)譜儀控制
· 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規(guī)
· 系統(tǒng)過(guò)程控制
· 檢測(cè)異常壓力，利用繼電器設(shè)定點(diǎn)采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>
· 控制系統(tǒng)壓力
P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT?涂層傳感器。
Parylene-HT?是保形涂層，氣體阻隔性絕佳，不釋氣。與標(biāo)準(zhǔn) MEMS Pirani 相比，Parylene-HT?涂層傳感器對(duì)各種腐蝕性氣體的耐受性更強(qiáng)。涂層覆蓋整個(gè)傳感器芯片，包括接線(xiàn)。因此，暴露于處理氣體的唯一材料只有 Parylene-HT?涂層。 如需更多詳情，請(qǐng)聯(lián)系應(yīng)用支持部門(mén)。
廢棄處理
TTR 911 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
測(cè)量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定
測(cè)量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1000 毫巴
精確度(1) (N2): | 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±10% | |||||
1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±5% | ||||||
100 至 1000 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±25% | ||||||
重復(fù)性(1) (N2): | 1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 | ±2% | |||||
電源電壓: | 9-30 伏直流 | |||||||
功耗: | < 1.2 瓦 | |||||||
熔絲 (熱可恢復(fù)): | 200 毫安 | |||||||
模擬輸出 (100 歐阻抗): | 0.61-10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進(jìn)制 | |||||||
模擬輸出分辨率: | 16 位 | |||||||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | |||||||
傳感器故障，模擬輸出: | 0.5 伏 | |||||||
材料暴露于真空(2): | ||||||||
P/N: 89654V02、89660V02、230700V02: | 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM | |||||||
P/N: 89656V02、230701V02: | 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT? | |||||||
機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器: | ||||||||
P/N: 89660V02: | 3 | |||||||
P/N: 89654V02、89656V02: | 2 | |||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: | 2×10-4 至 1000 毫巴 | |||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) | |||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | < 100 毫秒 | |||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: | 100 毫歐 (最大值) | |||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載) | |||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載) | |||||||
軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器: | ||||||||
P/N: 230700V02、230701V02: | 2 | |||||||
數(shù)字接口循環(huán)時(shí)間 | 1 毫秒 | |||||||
內(nèi)部容積: | KF16: | 2.80 厘米3 | ||||||
外殼材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 | |||||||
重量: | ||||||||
P/N: 89654V02、89656V02: | 292 克 | |||||||
P/N: 89660V2: | 168 克 | |||||||
P/N: 230700V02、230701V02: | 338 克 | |||||||
最大允許壓力: | 6 巴 | |||||||
運(yùn)行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||||||
烘烤溫度 (電源關(guān)閉): | 85 °C (185 °F) | |||||||
燈絲溫度: | 超過(guò)室溫 35 °C | |||||||
異物防護(hù)等級(jí): | IP40 | |||||||
泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 | |||||||
(1) 精確度和重復(fù)性數(shù)值是零位調(diào)整后在室溫氮?dú)夥障聹y(cè)得的典型數(shù)值。 | ||||||||
(2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請(qǐng)聯(lián)系LEYBOLD。 | ||||||||
Parylene-HT?是Specialty Coating Systems, Inc 的商標(biāo)。 | ||||||||
配件和備件編號(hào)
零件 |
產(chǎn)品號(hào) |
TTR 911 N，DN16 KF，Display，2SP | 89654V02 |
TTR 916 N C，DN16 KF，Display，2SP | 89656V02 |
TTR 911 N，DN16 KF，RS232 | 89660V02 |
TTR 911 N，DN16 KF，EtherCat | 230700V02 |
TTR 911 N C，DN16 KF，EtherCat | 230701V02 |
備用傳感器 TTR 911 N/TTR 916 N，DN16 KF | 230650V02 |
備用傳感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C，DN16 KF | 230651V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型電纜，5 米 | 12426 |
A 型電纜，10 米 | 230012 |
A 型電纜，15 米 | 12427 |
A 型電纜，20 米 | 12428 |
A 型電纜，30 米 | 12429 |
A 型電纜，50 米 | 12431 |
A 型電纜，75 米 | 12432 |
A 型電纜，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 16 ISO-KF | 230082 |
定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼)，含 O 型環(huán)，DN16 KF | 88346 |
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過(guò)濾器，DN16 KF | 88351 |
卡環(huán) (鋁)，DN16 KF | 18341 |
定心環(huán)，含細(xì)濾器 DN16 KF | 88396 |
更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶官方授權(quán)：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com
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