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PENNINGVAC 變送器   PTR 237 N

PENNINGVAC 變送器 PTR 237 N

說明   PTR 237 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 5×10-3 毫巴的較大測量范圍,基于對冷陰極電離電流的測量結果。  配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89642V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230703V02) 的變送器...

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說明 

 

 PTR 237 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 5×10-3 毫巴的較大測量范圍,基于對冷陰極電離電流的測量結果。 

 

配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89642V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230703V02) 的變送器版本可設置變送器參數(shù),并可提供實時壓力測量結果。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。(P/N: 230703V02)  

這些變送器用途廣泛,可用作獨立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。 

 

每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在指定操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。 

 

變送器擁有多達三個機械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備,獲取壓力讀數(shù),或進行壓力控制。 

 

傳感器技術 

 

冷陰極反磁控管采用高電壓陽極、陰極和永磁體。電子向陽極加速,并將通過碰撞而使分子離子化。磁場使電子偏轉,從而使電子在穿過磁場前往陽極時做螺旋形移動。這種螺旋運動增大了電子遇到分子并使分子離子化的機會。 

分子離子化產生電流,該電流是壓力的函數(shù)。 



FAQ (常見問題解答)

 

應用  

: 變送器和傳感器元件能否持續(xù)承受機械前級泵的振動?

: 能,冷陰極傳感器能夠承受持續(xù)振動。 

 

: 變送器能否兼容氟氣?

: 不能,變送器不應在侵蝕性環(huán)境中使用,比如半導體蝕刻用途。 

 

: 通過閥門閉合將變送器抽真空并隔離,壓力卻升高了。變送器是否泄漏?  

: 不太可能,密閉空間排空且泵抽停止時,壓力會因為以水蒸氣為主的釋氣而上升。時間一久,壓力很容易升至數(shù)毫巴。 

 

: 當使用氦泄漏檢測器測試變送器是否泄漏時,泄漏讀數(shù)在約 30 秒后緩慢上升。變送器是否泄漏?

: 未泄漏,變送器內部密封使用了彈性體 FPM 密封,因此氦分子可滲透 FPM 材料,導致氦泄漏讀數(shù)緩慢增長。如果直接使用氦泄漏檢測器測試泄漏的變送器,則幾乎會瞬間顯示泄漏。 

 

: 變送器是否可以安裝在任何方向?

: 可以,變送器可以在任何方向安裝,不會損及性能或校準。但是,為了避免顆粒或液體等污染進入設備,建議您不要將變送器的法蘭口向上安裝。 

 

: 變送器可以承受瞬間通風嗎?

: 可以,冷陰極傳感器元件對機械力的耐受力極強,可以承受連續(xù)壓力循環(huán)和瞬間空氣通風。不建議在冷陰極開啟時執(zhí)行瞬間通風。  

 

: 可否連接將由變送器繼電器觸點控制的閥門? 

: 閥門等驅動感應式負載需要采取特殊的預防措施。請參閱第 4.4 章。 

 

: 變送器可以承受多少次壓力循環(huán)? 

冷陰極傳感器元件對壓力變化的機械承受力很強,壓力循環(huán)的次數(shù)不會影響變送器的使用壽命。在出現(xiàn)快速壓力循環(huán)的應用中,冷陰極傳感器可能發(fā)生濺射,從而導致精度變化。  

 

冷陰極傳感器腔室變色了,這是為什么? 

如果冷陰極在高壓 (>1.00E-4 毫巴下操作,則冷陰極離子化電池的內壁可能被濺射。這將改變內部測量腔室的顏色,還有可能導致測量精度變化。 

 

模擬輸出 

: 模擬輸出的更新率是? 

每秒 16 次。 

 

: 模擬輸出電纜的最大長度是? 

模擬電纜長度取決于電纜質量和電氣噪音環(huán)境,但除了電纜必須屏蔽之外,對長達 100 米的電纜長度一般不需要采取任何特殊的預防措施。 

 

: 數(shù)字讀數(shù)正確,但模擬輸出讀數(shù)與實際壓力有些偏差,怎么辦? 

檢查確保模擬輸出連接到浮置輸入,而非接地輸入。如果連接的模擬輸出回路接地,電源電流將流入信號線路,并導致壓降和接地回路的形成。  

 

數(shù)字輸出 

: 通過數(shù)字接口請求壓力測量的速度有多快?

每秒 10 次是推薦的最快壓力請求頻率。 

 

: 從開機到有效測量值要等多長時間?

: 開機順序約為 2 秒。開機順序期間,燈環(huán)亮起紅光,數(shù)字接口對命令無回應。開啟高壓后,冷陰極會進行幾分鐘穩(wěn)定。 


: 變送器數(shù)字通信回應中為何有時會丟失首字符?

: 這可能是由變送器通信回應過快而導致的。請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 

 

校準和調整 

: 變送器需要的校準或零位調整頻率是?

: 這取決于應用和壓力范圍,但是在眾多應用中無需用戶調整。暫時或永久影響測量性能的因素是污染、腐蝕、熱和電子干擾。 

 

: 電源關閉后,變送器是否會保留用戶校準? 

: 會,包括校準資料在內的所有變送器參數(shù)都存儲在變送器的非易失性存儲器內。 

 

服務和維修 

: 如果傳感器元件被污染,能否更換?

: 能,可遵循第 9 章說明的步驟更換冷陰極陽極和陰極片。 

 

+24 伏直流電源電壓連接到了模擬輸出+。變送器是否損壞?

: 有可能,在向輸出引腳通電時,模擬輸出不受保護。 

 

: 反向電壓連接到了電源輸入。變送器是否損壞?

: 不太可能,變送器電源電路具有反向電壓和超壓保護,但是 Leybold 不保證變送器不會因此損壞。 

 

: 狀態(tài) LED 為何不斷亮起紅光?

: 當冷陰極已開啟,但未成功引燃 5 分鐘后,此 LED 將變?yōu)榧t光。 


應用 

變送器可用于眾多不同領域的真空應用中,如:工業(yè)應用、研發(fā)、半導體、分析和涂料工業(yè)中:

· 一般真空壓力測量  

· 涂料  

· 質譜儀控制 

· 系統(tǒng)過程控制 

· 檢測異常壓力,利用設定點繼電器采取妥當?shù)陌踩胧?/span> 

· 控制系統(tǒng)基礎壓力 

 


測量原理:

冷陰極離子化電流 


測量范圍 (N2 和空氣):  

1×10-8  5×10-3 毫巴 





精確度 (1) (N2):  

1×10-8  1x10-3 毫巴:

讀數(shù)的 ±30%




重復性 (1) (N2):  

1x10-8  1x10-3 毫巴:

讀數(shù)的 ±30%




電源電壓:

9-30 伏直流 


功耗:

< 2  


熔絲 (熱可恢復):

200 毫安 


模擬輸出:

2-9.6 伏直流,Log. 1.33 伏直流/十進制 


模擬輸出 1 分辨率:

16   


模擬輸出阻抗:

100  


模擬輸出更新率:

16 赫茲 


電壓輸出 (如果 CC 未引燃):

0.4 伏直流 





機械設定點繼電器:



P/N: 15734V02, 15736V02:  

0


P/N: 89642V02:  

3


設定點繼電器范圍:

1×10-8  5×10-3 毫巴 


設定點繼電器觸點額定值:

1 /30 伏直流/交流 (電阻性負載)


設定點繼電器觸點電阻:

100 毫歐 (最大值)


設定點繼電器響應時間:

<100 毫秒 


設定點繼電器觸點耐久性:

100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負載)

設定點繼電器觸點耐久性:  

2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)




軟件設定點繼電器:



P/N: 230703V02:

2


設定點繼電器響應時間:

< 20 毫秒 





材料暴露于真空 (2):  

304 號不銹鋼、密封材料 FPM





內部容積:

KF25

28.6 厘米3

CF40

32.7 厘米3





外殼材質:

304 號不銹鋼 


法蘭材質:

304 號不銹鋼 





重量:

P/N: 15734V0289642V02:

321  


P/N: 230703V02:

600  


P/N: 230281V02:

318  




最大允許壓力:

6  


運行溫度:

0  40 °C (32  104 °F)


烘烤溫度 (電源關閉):

85 °C (185 °F)


燈絲溫度:

超過室溫 35 °C  


異物防護等級:

IP40


泄漏速率:

< 5?0-9 毫巴?/ 




零件

 

 產品號 

PTR 225 NDN 25 KF

 15734V02

PTR 225 NDN 25 KFRS2323SP

 89642V02

PTR 225 NEtherCatDN 25 KF

 230703V02

PTR 237 NDN 40 CF

 15736V02

陰極替換片PTR 90N /PTR 225 N  

 EK16291V02

陽極替換環(huán)PTR 90N /PTR 225 N  

 20028711V02



Display 1  

 230001

Display 2

 230024

Display 3

 230025



Graphix 1

 230680V01

Graphix 2

 230681V01

Graphix 3

 230682V01



A 型電纜,5  

 12426

A 型電纜,10  

 230012

A 型電纜,15  

 12427

A 型電纜,20  

 12428

A 型電纜,30  

 12429

A 型電纜,50  

 12431

A 型電纜,75  

 12432

A 型電纜,100  

 12433



螺旋管 DN 25 ISO-KF

 230083



定心環(huán)(1.4305 號不銹鋼),含O型環(huán)

 88374

定心環(huán)(不銹鋼),含燒結金屬過濾器

 88352

卡環(huán)()

 210043

隔板,含定心環(huán)(FPM)

 230078

 


 


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