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1
檢漏儀如何工作
檢漏儀可以識別，分析和測量進入或泄漏出封閉空間的氣體或流體。檢漏儀通常內置真空系統，既能搜索漏點，又能測量漏率。
大多數檢漏儀使用磁扇區質譜，檢測氦氣。粒子在真空中被電離，并隨著電壓的增加而加速，從而在磁場中將其分離，并將離子轉變為電流。
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2
殘余氣體分析儀(RGA)
殘余氣體分析儀（RGA）的功能不僅僅限于氦氣，它能評估空間中存在的所有氣體。
RGA的三個基本組成部分
離子源 -- 離子源用于將空間中的氣體轉化為離子。從熱燈絲發射的電子利用電偏壓加速。快速移動的電子與氣體分子碰撞，將氣體電離。
離子過濾器（四極杠）-- 在給定條件下只有特定的離子能“穿”過四級桿到達探測器。
檢測器 -- 穿過過濾器的離子與法拉第杯的金屬板碰撞收集。隨著電子轉化為電信號，離子被中和,形成離子的電流。
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3
RGA和檢漏儀：異同
RGA和檢漏儀都利用質譜原理。與檢漏儀相比RGA的優勢在于它能檢測氦氣以外的氣體如丙酮或甲醇等，所以RGA的功能更多 “檢漏”只是RGA的附加功能之一。
RGA沒有配備獨立的真空系統，需要設備的真空系統支持。
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4
RGA何時有所作為
RGA既可以用于極高真空系統的殘余氣體分析又能作為工藝氣體監測儀實現工藝控制。
RGA應用示例
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