真空室污染怎么診斷及去除方法

除了靜態升壓法，還有其他的方法來檢測污染。在被污染的真空室內氣體成分主要為可凝性蒸汽，通過壓力真空計來獲取壓強數值（不可凝氣體的分壓）并與電真空計讀數比較（壓力真空計和電真空計本身需清潔！）。如果壓力真空計測出氣體壓強數值遠優于電真空計下的測量值，就可以明確真空室腔壁有污染，通常為油。

另外一個常用方法是：使用同一非壓力真空計，裝上和不裝上冷阱前后比較壓強。如果真空室有污染，裝上冷阱后沖液氮，此將使壓強突然下降10倍以上。

去除玻璃設備的污染

如果污染物有很高的蒸汽壓，那么污染物可以用真空泵快速抽除。如果用真空泵抽除不了，那么設備必須要做清潔處理。被污染的玻璃部件首先要用鉻-硫酸混合物清洗，或者如果有必要的話用稀釋的氫氟酸（1:30）清洗，然后用蒸餾水沖洗。如果還不能達到效果，可以嘗試有機溶劑，然后再次用甲醇和蒸餾水沖洗玻璃部件（不要使用變性酒精！）。

去除金屬設備/金屬部件的污染

通常會顯示出石油和油脂污染的痕跡。如果這些東西不能通過泵入容器而輕易去除，那么適當的有機溶劑（在所有情況下都不適合）將不得不用于清洗。的清潔度可以通過蒸汽浴來實現，比如在工業中常見的蒸汽浴。如果你想要降到極低的壓力范圍（<10-7 mbar），那么在清洗之后，金屬部件必須在高達200攝氏度的溫度下烘烤。嚴重污染的金屬部件首先必須通過切割或噴砂表面來清洗。這些方法的缺點是，表面處理的表面面積將通過粗化和活躍的中心來增加，而這些中心可能會被輕易地吸附在蒸汽分子上。在蒸氣浴中補充清潔（見上圖）是明智的。在某些情況下，表面的電解酸洗可能是有益的。在高真空元件的情況下，有必要注意確保酸洗不會變成蝕刻，這將嚴重增加表面面積。在粗糙和中等的真空范圍內工作時，拋光表面是不需要的，因為表面在這些壓力系統中只起著從屬的作用。

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