真空系統(tǒng)無法達(dá)到或緩慢達(dá)到設(shè)計極限壓強(qiáng)的原因及對策

如果真空系統(tǒng)無法達(dá)到設(shè)計極限壓強(qiáng)或經(jīng)很長時間才能達(dá)到極限壓強(qiáng)，可能存在的原因如下：

如果設(shè)計極限壓強(qiáng)無法達(dá)到，可能的原因如下：

1.       真空裝置可能存在泄漏或污染

2.       真空泵/機(jī)組系統(tǒng)可能污染或損壞

3.       真空計有缺陷

如果設(shè)計極限壓強(qiáng)要真空泵/泵組運行很長時間才能緩慢達(dá)到，可能的原因如下：

1.       真空裝置可能存在泄漏或污染

2.       真空抽氣管路設(shè)計不合理

3.       真空泵/機(jī)組系統(tǒng)可能污染或真空泵選型有問題

4.       因其他原因?qū)е碌恼婵毡?/span>/泵組抽速受限

為找到真空系統(tǒng)無法達(dá)到或緩慢達(dá)到設(shè)計極限壓強(qiáng)的原因，可能的話，把真空室從泵組系統(tǒng)脫離，使用加壓方式檢查真空室是否泄漏或有污染物。如真空室沒有問題，再檢查測量系統(tǒng)清潔度。后再檢查真空泵/真空泵系統(tǒng)。

如經(jīng)過以上方法仍無法查到原因，請聯(lián)系安博元技術(shù)支持人員tech@anboyuan.com。

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